共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
非球面氮气退火炉
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110526450.4
申请日：
2021-05-14
公开(公告)号：
CN113284824A
公开(公告)日：
2021-08-20
发明(设计)人：
陈宜隆
申请人：
申请人地址：
441000 湖北省襄阳市团山镇陆寨村八组74号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-20 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210514 |