电容式压力传感器及其制造方法

被引：0

申请号：

CN202110659787.2

申请日：

2021-06-15

公开(公告)号：

CN114577371A

公开(公告)日：

2022-06-03

发明(设计)人：

何昆政陈旷举刘汉英

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区

IPC主分类号：

G01L114

IPC分类号：

G01L912

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

刘静;姚亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-03	公开	公开
2022-06-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/14 申请日:20210615

共 50 条

[1]

电容式压力传感器及其制造方法 [P].

石仓义之 .

中国专利 :CN1440504A ,2003-09-03

[2]

电容式压力传感器及其制造方法 [P].

李刚 ;

胡维 .

中国专利 :CN103257005B ,2013-08-21

[3]

电容式压力传感器及其制造方法 [P].

王徐坚 ;

李卫民 ;

李俊毅 ;

孙浩 ;

张笑凡 ;

张润泽 ;

汤俐敏 .

中国专利 :CN118129972A ,2024-06-04

[4]

电容式压力传感器及其制造方法 [P].

拉斐尔·泰伊朋 ;

本杰明·莱姆克 ;

蒂莫·科博 ;

拉尔斯·卡尔韦克 ;

斯特凡·鲁姆勒-维尔纳 ;

托马斯·齐里林格 .

中国专利 :CN107148563A ,2017-09-08

[5]

电容式压力传感器及其制造方法 [P].

彼得·诺门森 ;

拉斐尔·泰伊朋 ;

本杰明·莱姆克 ;

谢尔盖·洛帕京 .

中国专利 :CN108351267A ,2018-07-31

[6]

电容式压力传感器及其制造方法 [P].

何吉能 ;

陈晓慈 ;

郑勋钊 ;

陈彦州 .

中国专利 :CN111060231B ,2020-04-24

[7]

电容式压力传感器及其制造方法 [P].

舒锦涛 ;

孙福河 ;

王敏昌 ;

季锋 ;

蒋晨星 .

中国专利 :CN120445473A ,2025-08-08

[8]

电容式压力传感器和制造该电容式压力传感器的方法 [P].

迪特尔·内格勒-普赖斯曼 ;

J·V·斯里达兰 .

中国专利 :CN104364627A ,2015-02-18

[9]

MEMS电容式压力传感器及其制造方法 [P].

王文 ;

曾凡 .

中国专利 :CN105222931A ,2016-01-06

[10]

电容式压力传感器 [P].

吉川康秀 ;

石仓义之 ;

山口彻 .

中国专利 :CN1961204B ,2007-05-09

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