曝光机器及曝光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610094097.2

申请日：

2006-06-22

公开(公告)号：

CN100399139C

公开(公告)日：

2006-11-29

发明(设计)人：

林朝成郑德胜白家瑄谢忠憬丘至和杉浦规生廖唯伦连水池

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

G02F11333

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-07-02	授权	授权
2006-11-29	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光方法及曝光系统 [P].

廖绍良 ;

胡传武 ;

张雷 .

中国专利 :CN111999990B ,2020-11-27

[2]

曝光系统及曝光方法 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN113759672B ,2024-06-11

[3]

曝光系统及曝光机 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN216118386U ,2022-03-22

[4]

曝光系统及曝光方法 [P].

陈右儒 ;

陈骏腾 ;

曾耀腾 ;

高振宽 .

中国专利 :CN106773329A ,2017-05-31

[5]

曝光系统及曝光方法 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN113759672A ,2021-12-07

[6]

曝光系统及曝光机 [P].

汪杰 ;

林世宏 .

中国专利 :CN221079182U ,2024-06-04

[7]

曝光装置、曝光系统及曝光方法 [P].

万冀豫 ;

吴洪江 ;

黄常刚 ;

王耸 ;

张继凯 .

中国专利 :CN103353710A ,2013-10-16

[8]

曝光机及曝光系统 [P].

李凯波 ;

张晨 ;

胡超 ;

王欢 ;

崔家卿 .

中国专利 :CN106919008A ,2017-07-04

[9]

曝光装置及曝光系统 [P].

查长军 ;

黎敏 ;

吴洪江 .

中国专利 :CN103885298B ,2014-06-25

[10]

曝光系统及曝光方法 [P].

孙俊阳 ;

张飞扬 ;

王彦飞 ;

韩晓艳 ;

李运锋 .

中国专利 :CN118732408A ,2024-10-01

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