一种掩模颗粒度检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420138725.2

申请日：

2014-03-25

公开(公告)号：

CN203838473U

公开(公告)日：

2014-09-17

发明(设计)人：

孙鹤源王长刚

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-17	授权	授权
2017-08-22	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757479877 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2014201387252 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号

共 50 条

[1]

一种掩模版姿态监测方法、装置及掩模版颗粒度检测设备 [P].

张一志 ;

杨晓青 .

中国专利 :CN111380509B ,2020-07-07

[2]

一种燃料颗粒度检测用筛分装置 [P].

张翔 ;

朱修武 ;

李中海 ;

刘帅 ;

盛宗涛 ;

周彬彬 ;

侯笑皇 ;

郑云海 .

中国专利 :CN210497207U ,2020-05-12

[3]

一种用于颗粒度检测的装置 [P].

张聪 ;

易丹 ;

王呈祥 ;

邓霞 .

中国专利 :CN222318736U ,2025-01-07

[4]

一种颗粒度检测装置 [P].

丁会 ;

张苏 ;

陈力航 .

中国专利 :CN205015250U ,2016-02-03

[5]

钢化玻璃颗粒度检测装置 [P].

王浩男 ;

郭玉凯 ;

陈哲 .

中国专利 :CN221725814U ,2024-09-17

[6]

一种矿物颗粒度检测装置 [P].

陈燕 .

中国专利 :CN217857199U ,2022-11-22

[7]

一种油液颗粒度检测装置 [P].

李欢 ;

刘相蕊 ;

张泾全 ;

范雪丽 ;

李泽康 .

中国专利 :CN216525332U ,2022-05-13

[8]

一种燃煤颗粒度检测装置 [P].

朱加繁 ;

温明肖 ;

吕浩 ;

徐雄斌 ;

陈明先 ;

王强 ;

缪祥坤 .

中国专利 :CN212254983U ,2020-12-29

[9]

一种油中颗粒度检测装置 [P].

任奋奋 .

中国专利 :CN221506623U ,2024-08-09

[10]

一种建筑环境颗粒度检测装置 [P].

刘军良 ;

徐春晓 ;

贾慧敏 .

中国专利 :CN222189071U ,2024-12-17

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