一种掺钼氧化锌薄膜晶体管及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510111273.8

申请日：

2015-03-13

公开(公告)号：

CN104716195A

公开(公告)日：

2015-06-17

发明(设计)人：

韩德栋石盼王漪丛瑛瑛董俊辰周晓梁郁文张翼黄伶灵刘力锋张盛东刘晓彦康晋锋

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

H01L29786

IPC分类号：

H01L21336 H01L2943

代理机构：

北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360

代理人：

贾晓玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616812161 IPC(主分类):H01L 29/786 专利申请号:2015101112738 申请日:20150313
2015-06-17	公开	公开
2018-02-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 29/786 申请公布日:20150617

共 50 条

[1]

一种掺钙氧化锌薄膜晶体管及其制备方法 [P].

韩德栋 ;

郁文 ;

王漪 ;

石盼 ;

丛瑛瑛 ;

张翼 ;

董俊辰 ;

周晓梁 ;

黄伶灵 ;

张盛东 ;

刘力锋 ;

刘晓彦 ;

康晋锋 .

中国专利 :CN104766892A ,2015-07-08

[2]

一种氧化锌薄膜晶体管的制备方法 [P].

韩德栋 ;

黄伶灵 ;

陈卓发 ;

丛瑛瑛 ;

赵楠楠 ;

吴静 ;

赵飞龙 ;

董俊辰 ;

王漪 ;

刘力锋 ;

张盛东 ;

刘晓彦 ;

康晋锋 .

中国专利 :CN104112671A ,2014-10-22

[3]

非晶氧化锌薄膜晶体管及其制造方法 [P].

金昌桢 ;

宋利宪 ;

姜东勋 ;

朴永洙 .

中国专利 :CN101060139A ,2007-10-24

[4]

一种非晶氧化锌基薄膜晶体管及其制备方法 [P].

韩德栋 ;

丛瑛瑛 ;

黄福青 ;

单东方 ;

张索明 ;

田宇 ;

王漪 ;

张盛东 ;

刘晓彦 ;

康晋锋 .

中国专利 :CN104681622A ,2015-06-03

[5]

一种氢钝化氧化锌基薄膜晶体管及其制备方法 [P].

廖蕾 ;

许磊 ;

刘兴强 ;

刘传胜 .

中国专利 :CN104037234A ,2014-09-10

[6]

一种梯度沟道掺氮氧化锌薄膜晶体管及其制备方法 [P].

姚志强 ;

郭建磊 .

中国专利 :CN112002762A ,2020-11-27

[7]

氧化锌锡薄膜及制备方法、薄膜晶体管及制备方法 [P].

邱勇 ;

赵云龙 ;

段炼 .

中国专利 :CN103510086A ,2014-01-15

[8]

双有源层结构氧化锌基薄膜晶体管及其制备方法 [P].

刘玉荣 ;

姚若河 ;

耿魁伟 .

中国专利 :CN104900707A ,2015-09-09

[9]

一种氧化锌基薄膜晶体管及其制备方法 [P].

韩德栋 ;

王漪 ;

张盛东 ;

孙雷 ;

张韬 ;

任奕成 ;

韩汝琦 .

中国专利 :CN102403360A ,2012-04-04

[10]

一种氧化锌薄膜晶体管的制备方法 [P].

韩德栋 ;

蔡剑 ;

王漪 ;

王薇 ;

王亮亮 ;

任奕成 ;

张盛东 ;

刘晓彦 ;

康晋锋 .

中国专利 :CN102544108A ,2012-07-04

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