多晶硅芯片回收组件和从多晶硅清洗装置中回收多晶硅芯片的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580051962.2

申请日：

2015-09-03

公开(公告)号：

CN107078077A

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

詹森·L·贾尔迪纳詹姆斯·C·蒙代尔纳撒尼尔·C·麦肯锡-赫梅莱夫斯基

申请人：

申请人地址：

美国密歇根州

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 H01L2348

代理机构：

北京安信方达知识产权代理有限公司 11262

代理人：

武娟;郑霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-18	公开	公开
2020-11-10	授权	授权
2017-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101747166247 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015800519622 申请日:20150903

共 50 条

[1]

多晶硅晶铸锭、多晶硅晶棒及多晶硅芯片 [P].

杨瑜民 ;

杨承叡 ;

周鸿昇 ;

余文怀 ;

许松林 ;

徐文庆 .

中国专利 :CN106350868A ,2017-01-25

[2]

多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅 [P].

漆原诚 ;

水岛一树 .

中国专利 :CN101956232B ,2011-01-26

[3]

多晶硅和多晶硅的选择方法 [P].

宫尾秀一 ;

祢津茂义 .

中国专利 :CN107083566A ,2017-08-22

[4]

多晶硅铸锭炉、多晶硅铸锭方法和多晶硅锭 [P].

周成 ;

何亮 ;

毛伟 ;

徐云飞 ;

李建敏 .

中国专利 :CN109554752A ,2019-04-02

[5]

多晶硅制造装置以及多晶硅 [P].

冈田哲郎 ;

星野成大 ;

石田昌彦 .

中国专利 :CN111560650A ,2020-08-21

[6]

多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法 [P].

陈辉 ;

曲宏波 ;

刘应全 ;

张潼 ;

蔡爱梅 ;

张征 ;

张邦洁 .

中国专利 :CN111151504A ,2020-05-15

[7]

多晶硅清洗装置 [P].

石何武 ;

张升学 ;

章莉 ;

郑红梅 ;

杨永亮 .

中国专利 :CN215902330U ,2022-02-25

[8]

船崎和则 ;

佐藤一臣 ;

宫尾秀一 .

中国专利 :CN106966395B ,2017-07-21

[9]

多晶硅清洗装置 [P].

石何武 ;

张升学 ;

章莉 ;

郑红梅 ;

杨永亮 .

中国专利 :CN113319058A ,2021-08-31

[10]

罗伯特·鲍曼 ;

罗伯特·赫尔茨尔 ;

米夏埃尔·魏克塞尔加特纳 .

中国专利 :CN103172069A ,2013-06-26

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