基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310234239.0

申请日：

2013-06-14

公开(公告)号：

CN103303862B

公开(公告)日：

2013-09-18

发明(设计)人：

杨晋玲王帅鹏王晶晶朱银芳杨富华

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81C300

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

任岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-18	公开	公开
2013-10-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101531533256 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2013102342390 申请日:20130614
2015-10-07	授权	授权

共 50 条

[1]

基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 [P].

杨晋玲 ;

王帅鹏 ;

王晶晶 ;

杨富华 .

中国专利 :CN102735564A ,2012-10-17

[2]

基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器及悬臂梁制作方法 [P].

张加宏 ;

沈雷 ;

李敏 ;

冒晓莉 .

中国专利 :CN105974104A ,2016-09-28

[3]

基于巨压阻结构的悬臂梁生化传感器 [P].

张加宏 ;

沈雷 ;

李敏 ;

冒晓莉 .

中国专利 :CN205607997U ,2016-09-28

[4]

液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法 [P].

于海涛 ;

许鹏程 ;

李昕欣 ;

陈滢 ;

包宇洋 .

中国专利 :CN104569369B ,2015-04-29

[5]

集成光栅微悬臂梁生化传感器及其芯片制作方法 [P].

叶雄英 ;

陈烽 ;

伍康 ;

刘力涛 ;

周兆英 .

中国专利 :CN101750481A ,2010-06-23

[6]

柔性压阻式微悬臂梁传感器及其制作方法 [P].

于晓梅 ;

田源 ;

王阳 .

中国专利 :CN108592965A ,2018-09-28

[7]

微悬臂梁传感器及其制作方法 [P].

于晓梅 ;

张大成 .

中国专利 :CN1240995C ,2004-10-13

[8]

基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器 [P].

韩磊 ;

吴承根 .

中国专利 :CN112034019B ,2020-12-04

[9]

高响应灵敏度悬臂梁结构及其制作方法 [P].

刘瑞文 ;

焦斌斌 ;

李志刚 ;

孔延梅 ;

卢狄克 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN103193191A ,2013-07-10

[10]

用于超高灵敏探测的微纳悬臂梁结构制作方法 [P].

曹立新 ;

李位勇 ;

韩烨 ;

许波 ;

赵柏儒 .

中国专利 :CN102139855B ,2011-08-03

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