基板加工装置和基板加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380044496.6

申请日：

2013-08-23

公开(公告)号：

CN104584193B

公开(公告)日：

2015-04-29

发明(设计)人：

韩政勋金荣勋黃喆周

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

李琳;许向彤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616804380 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2013800444966 申请日:20130823
2017-02-22	授权	授权
2015-04-29	公开	公开

共 50 条

[1]

基板加工装置及方法 [P].

郭在燦 ;

姜成圭 ;

郑勋 ;

赵炳夏 .

中国专利 :CN104395987A ,2015-03-04

[2]

基板加工装置及基板加工方法 [P].

韩政勋 ;

黃喆周 ;

徐承勋 ;

李相敦 .

中国专利 :CN104380435B ,2015-02-25

[3]

基板加工装置及基板加工方法 [P].

韩政勋 ;

黃喆周 ;

徐承勋 ;

李相敦 .

中国专利 :CN108277478B ,2018-07-13

[4]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

崔泰钟 ;

李龙熙 ;

李钟斗 .

韩国专利 :CN119879516A ,2025-04-25

[5]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

权慧斌 ;

尹堵铉 ;

朴美昭 ;

任镕浚 .

韩国专利 :CN120237056A ,2025-07-01

[6]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

金真奕 .

韩国专利 :CN120164813A ,2025-06-17

[7]

基板加工方法和基板加工装置 [P].

金泰信 ;

曹洗澧曜汉 ;

郑映大 ;

吴承彦 ;

尹铉 ;

赵裕珍 ;

崔基熏 .

韩国专利 :CN120221403A ,2025-06-27

[8]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

山胁阳平 ;

中野征二 ;

川口义广 ;

児玉宗久 .

中国专利 :CN113924640A ,2022-01-11

[9]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

崔文植 ;

金珉贞 ;

李瑟 .

韩国专利 :CN120033112A ,2025-05-23

[10]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

山胁阳平 ;

中野征二 ;

川口义广 ;

児玉宗久 .

日本专利 :CN113924640B ,2025-05-06

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