一种硅基混合集成雪崩光电探测器

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610149517.6
申请日
2016-03-16
公开(公告)号
CN105789366B
公开(公告)日
2016-07-20
发明(设计)人
尹冬冬 杨晓红 韩勤 何婷婷 吕倩倩
申请人
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号
H01L31107
IPC分类号
H01L310232
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
乔东峰
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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不公告发明人 .
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[3]
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宋俊峰 ;
王欣伟 ;
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刘晓斌 ;
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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