一种离子束辅助沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710814677.2

申请日：

2017-08-25

公开(公告)号：

CN107475670A

公开(公告)日：

2017-12-15

发明(设计)人：

方晓华李君华张向平

申请人：

申请人地址：

321017 浙江省金华市婺州街1188号

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20170825
2017-12-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种离子束辅助沉积系统 [P].

卢世通 ;

张向平 ;

方晓华 ;

李君华 .

中国专利 :CN209481775U ,2019-10-11

[2]

离子束辅助沉积镀膜装置 [P].

朱佳敏 ;

林晓辉 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

孙树博 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈永春 ;

陈晓琦 .

中国专利 :CN118360572B ,2025-03-18

[3]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的走带系统 [P].

朱佳敏 ;

柏培 ;

高中赫 ;

陈思侃 ;

林晓辉 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈永春 ;

孙树博 ;

陈晓琦 .

中国专利 :CN118028745B ,2025-02-25

[4]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的镀膜系统 [P].

朱佳敏 ;

林晓辉 ;

柏培 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

陈永春 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈晓琦 ;

孙树博 .

中国专利 :CN118086842B ,2024-09-24

[5]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的走带系统 [P].

朱佳敏 ;

柏培 ;

高中赫 ;

陈思侃 ;

林晓辉 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈永春 ;

孙树博 ;

陈晓琦 .

中国专利 :CN118028745A ,2024-05-14

[6]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的镀膜系统 [P].

朱佳敏 ;

林晓辉 ;

柏培 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

陈永春 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈晓琦 ;

孙树博 .

中国专利 :CN118086842A ,2024-05-28

[7]

离子束辅助沉积镀膜装置及镀膜方法 [P].

朱佳敏 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

柏培 .

中国专利 :CN116904955B ,2024-04-30

[8]

刀具表面离子束辅助沉积镀膜用装置 [P].

马明星 ;

王志新 ;

张志汉 ;

张宪斌 .

中国专利 :CN205223336U ,2016-05-11

[9]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的冷却系统 [P].

朱佳敏 ;

林晓辉 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

孙树博 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈永春 ;

陈晓琦 .

中国专利 :CN118360572A ,2024-07-19

[10]

一种聚焦离子束辅助沉积结构轮廓确定方法 [P].

幸研 ;

方晨 ;

吴国荣 .

中国专利 :CN110851976A ,2020-02-28

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