超临界流体加热装置及包括其的基板处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820153812.3

申请日：

2018-01-30

公开(公告)号：

CN208205391U

公开(公告)日：

2018-12-07

发明(设计)人：

郑有善

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道安城市

IPC主分类号：

F24H110

IPC分类号：

F24H900 H01L2167 H01L2102

代理机构：

北京冠和权律师事务所 11399

代理人：

朱健;陈国军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

超临界流体制造装置和基板处理装置 [P].

清原康雄 .

中国专利 :CN108155117A ,2018-06-12

[2]

超临界流体处理装置 [P].

后藤洋臣 ;

井上统宏 ;

森隆弘 ;

阿部浩久 .

中国专利 :CN104813163A ,2015-07-29

[3]

超临界流体处理装置 [P].

郭英凯 ;

赵燕禹 ;

赵国华 .

中国专利 :CN101396646A ,2009-04-01

[4]

超临界流体处理装置的清洗剂及使用其的超临界流体处理装置的清洗方法 [P].

末定君之 ;

梅村深雪 ;

纸谷洋平 ;

福田尚宏 ;

斋藤崇 ;

朝垣文雄 .

日本专利 :CN118256310A ,2024-06-28

[5]

超临界流体装置及超临界流体装置的压力控制方法 [P].

尾和道晃 .

中国专利 :CN113906363A ,2022-01-07

[6]

超临界流体装置及超临界流体装置的压力控制方法 [P].

尾和道晃 .

日本专利 :CN113906363B ,2025-01-14

[7]

超临界流体反应装置 [P].

陈宇飞 ;

李志超 ;

韩阳 ;

汪波涛 ;

楚洪月 .

中国专利 :CN205084728U ,2016-03-16

[8]

使用超临界流体的衬底处理装置 [P].

崔海圆 ;

权钟完 ;

徐政业 .

韩国专利 :CN118147612A ,2024-06-07

[9]

超临界流体装置 [P].

高良智寻 .

中国专利 :CN110914684B ,2020-03-24

[10]

超临界流体装置 [P].

藤户由佳 ;

小仓泰郎 ;

田中健一朗 .

中国专利 :CN110291392B ,2019-09-27

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