气体处理装置和气体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711395621.4

申请日：

2017-12-21

公开(公告)号：

CN108231626A

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

挂川崇古屋雄一鸟屋大辅

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;徐飞跃

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20171221
2018-06-29	公开	公开

共 50 条

[1]

气体处理装置和气体处理方法 [P].

桑田拓岳 ;

神尾卓史 ;

布重裕 ;

藤井康 .

中国专利 :CN110819967A ,2020-02-21

[2]

气体处理方法和气体处理装置 [P].

出道仁彦 ;

高桥哲朗 ;

石昌焕 ;

小林纯 ;

佐藤彰弘 .

日本专利 :CN118369748A ,2024-07-19

[3]

气体处理方法和气体处理装置 [P].

神原信志 ;

菱沼宣是 ;

增井芽 .

中国专利 :CN104487154B ,2015-04-01

[4]

气体处理方法和气体处理装置 [P].

夏山和都 ;

滨地心 .

中国专利 :CN112654414A ,2021-04-13

[5]

气体处理方法和气体处理装置 [P].

松井一真 .

日本专利 :CN113784776B ,2024-03-19

[6]

气体处理方法和气体处理装置 [P].

松井一真 .

中国专利 :CN113784776A ,2021-12-10

[7]

气体处理方法、气体处理装置 [P].

内藤敬祐 .

中国专利 :CN114126745A ,2022-03-01

[8]

喷头和气体处理装置 [P].

田中孝幸 ;

杉山正树 ;

岛村贵春 ;

大森贵史 ;

南雅人 .

中国专利 :CN111261485B ,2020-06-09

[9]

气体处理方法及气体处理装置 [P].

岸本启 ;

秋山胜哉 ;

町田洋 ;

山口毅 ;

江崎丈裕 ;

则永行庸 .

中国专利 :CN111372671B ,2020-07-03

[10]

气体处理装置及气体处理方法 [P].

内藤敬祐 .

中国专利 :CN114051426A ,2022-02-15

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