一种排液装置及排液方法

被引：0

申请号：

CN202011119580.8

申请日：

2020-10-19

公开(公告)号：

CN114388383A

公开(公告)日：

2022-04-22

发明(设计)人：

慎吉晟卢一泓李琳胡艳鹏张月

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京知迪知识产权代理有限公司 11628

代理人：

王胜利

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	公开	公开
2022-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201019

共 50 条

[1]

排液装置及排液方法 [P].

安藤磐 .

中国专利 :CN101014806A ,2007-08-08

[2]

一种排液装置及排液方法 [P].

邱立国 ;

周理 ;

廖文杰 ;

肖俊 .

中国专利 :CN110645480A ,2020-01-03

[3]

一种自动排液装置及自动排液方法 [P].

曲虎 ;

邵艳波 ;

梁明 ;

刘静 ;

南子龙 ;

赵国锋 ;

张志贵 ;

付莹莹 ;

春生 .

中国专利 :CN113308284A ,2021-08-27

[4]

排液头，排液方法和排液装置 [P].

岛津聪 ;

须釜定之 ;

石永博之 ;

种谷阳一 ;

杉山裕之 .

中国专利 :CN1118373C ,2000-05-31

[5]

排液装置及び排液方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2006028031A1 ,2008-05-08

[6]

一种液氮排液装置、液氮排液方法及芯片测试系统 [P].

贾月明 ;

陈占杰 ;

许向阳 ;

孙皓熙 .

中国专利 :CN114272969A ,2022-04-05

[7]

双向射流泵、排液装置及排液方法 [P].

雷鹏 ;

王志国 ;

刘洪伟 ;

许亚东 ;

姜居英 ;

杨先辉 ;

刘述忍 ;

刘天奇 ;

双建东 .

中国专利 :CN118065836A ,2024-05-24

[8]

一种排液装置 [P].

郭贵东 ;

陈光 ;

吴磊 .

中国专利 :CN202191885U ,2012-04-18

[9]

一种研磨排液系统及研磨排液方法 [P].

王盈州 .

中国专利 :CN118456279A ,2024-08-09

[10]

安全排液装置及相应的安全排液方法 [P].

吴银波 ;

邓海涛 .

中国专利 :CN110318986A ,2019-10-11

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