共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2008-05-21 | 公开 | 公开 |
| 2010-05-19 | 授权 | 授权 |
| 2017-07-14 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101734159059 IPC(主分类):C23C 2/24 专利号:ZL2006800187149 申请日:20060524 授权公告日:20100519 终止日期:20160524 |
| 2008-07-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |