等离子体离子源的发生装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010579490.7

申请日：

2010-12-08

公开(公告)号：

CN102573260B

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

陈应徐国宾杨芃原

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区国定路335号B2001

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01J4916

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-18	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H05H 1/46 登记生效日:20180502 变更事项:专利权人变更前权利人:上海华质生物技术有限公司变更后权利人:浙江复华质芯生物科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:200433 上海市杨浦区国定路335号B2001 变更后权利人:314199 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道晋阳东路568号11幢1303号
2016-04-06	授权	授权
2021-11-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20101208 授权公告日:20160406 终止日期:20201208
2012-07-11	公开	公开
2013-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101512323367 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2010105794907 申请日:20101208

共 50 条

[1]

等离子体离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN307035534S ,2021-12-28

[2]

等离子体离子源 [P].

缪同群 ;

谢圣鸣 .

中国专利 :CN220439551U ,2024-02-02

[3]

双等离子体离子源 [P].

威廉·狄贝尔吉利欧 .

中国专利 :CN101903970A ,2010-12-01

[4]

电容放电等离子体离子源 [P].

拉安安·A·米勒 ;

埃吉纳·克里洛维 ;

欧金琼·G·纳泽罗 ;

加里·A·埃斯曼 ;

劳伦斯·A·考夫曼 .

中国专利 :CN1561532A ,2005-01-05

[5]

微波驱动的等离子体离子源 [P].

M·坦纳 .

中国专利 :CN115380628A ,2022-11-22

[6]

用于在等离子体离子源腔室中产生等离子体离子源的装置和方法 [P].

罗博特·S.·斯特博 ;

丹尼尔·P.·门特 ;

迈克尔·J.·思科斯 ;

布瑞恩·E.·尤尔奇克 .

中国专利 :CN105122419B ,2015-12-02

[7]

等离子体发生装置 [P].

金昌植 ;

金泰用 ;

金明佑 ;

南宫赫 ;

李河润 .

韩国专利 :CN117528891A ,2024-02-06

[8]

等离子体发生装置 [P].

张宜东 ;

蔡珑元 ;

尹志尧 .

中国专利 :CN211792195U ,2020-10-27

[9]

等离子体发生装置 [P].

金昌植 ;

金泰用 ;

金明佑 ;

南宫赫 ;

李河润 .

韩国专利 :CN117528891B ,2024-12-13

[10]

等离子体发生装置 [P].

樊华 ;

张明侠 .

中国专利 :CN214627459U ,2021-11-05

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