放射线敏感性树脂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080026410.3

申请日：

2010-06-14

公开(公告)号：

CN102804065B

公开(公告)日：

2012-11-28

发明(设计)人：

芹泽龙一松村信司榊原宏和

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

C08F22018 C09K300 G03F7039 H01L21027

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

左嘉勋;顾晋伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-28	公开	公开
2013-01-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101383319690 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2010800264103 申请日:20100614
2014-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

大塚升 ;

川上峰规 ;

西村幸生 ;

杉浦诚 .

中国专利 :CN101772735B ,2010-07-07

[2]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

江畑琢磨 ;

中川大树 ;

松田恭彦 ;

笠原一树 ;

星子贤二 ;

中岛浩光 ;

池田宪彦 ;

酒井香织 ;

原田早纪 .

中国专利 :CN102150082B ,2011-08-10

[3]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

山田爱理 .

中国专利 :CN101387829A ,2009-03-18

[4]

放射线敏感性组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN104281006B ,2015-01-14

[5]

放射线敏感性组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN101528653B ,2009-09-09

[6]

放射线敏感性组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN103102251B ,2013-05-15

[7]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

下川努 ;

江畑琢磨 ;

酒井香织 ;

大泉芳史 ;

征矢野晃雅 ;

大塚昇 .

中国专利 :CN102089709B ,2011-06-08

[8]

放射线敏感性树脂组合物及电子部件 [P].

堤隆志 .

中国专利 :CN106062631A ,2016-10-26

[9]

放射线敏感性树脂组合物、聚合物及化合物 [P].

池田宪彦 ;

中村真一 .

中国专利 :CN103140551B ,2013-06-05

[10]

放射线敏感性组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN108008600A ,2018-05-08

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