一种研磨盘装置

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专利类型
发明
申请号
CN201410163591.4
申请日
2014-04-22
公开(公告)号
CN104440516A
公开(公告)日
2015-03-25
发明(设计)人
赵正元 李虎 张守龙
申请人
申请人地址
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
IPC主分类号
B24B3711
IPC分类号
代理机构
上海申新律师事务所 31272
代理人
吴俊
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种研磨盘 [P]. 
赵振伟 ;
张弢 ;
蒋德念 .
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研磨盘打磨装置 [P]. 
曾柏章 ;
蔡长益 .
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一种研磨盘固定架 [P]. 
高志强 .
中国专利 :CN108818296A ,2018-11-16
[4]
研磨盘和化学机械研磨装置 [P]. 
王建雄 ;
唐强 .
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[5]
一种新型研磨盘装置 [P]. 
曹玉圣 .
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[6]
研磨盘 [P]. 
邹冬林 .
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[7]
研磨盘 [P]. 
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贝恩德·修米西 ;
克里斯汀·斯普林特 .
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研磨盘 [P]. 
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[9]
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方福林 ;
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钱立恒 ;
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[10]
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