一种一步法制备掺杂化合物薄膜的方法

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专利类型
发明
申请号
CN200510111835.5
申请日
2005-12-22
公开(公告)号
CN1786255A
公开(公告)日
2006-06-14
发明(设计)人
吴嘉达 孙剑 卢意飞
申请人
申请人地址
200433上海市邯郸路220号
IPC主分类号
C23C1422
IPC分类号
代理机构
上海正旦专利代理有限公司
代理人
姚静芳
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
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