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一种半导体生产用静电消除装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022360677.X
申请日：
2020-10-21
公开(公告)号：
CN212967626U
公开(公告)日：
2021-04-13
发明(设计)人：
包文君
申请人：
申请人地址：
400000 重庆市沙坪坝区大学城南路25号1-7
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H05F302
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-13 | 授权 | 授权 |