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喷涂式聚合体去除设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200610116941.7
申请日：
2006-10-09
公开(公告)号：
CN101162702A
公开(公告)日：
2008-04-16
发明(设计)人：
赵晓亮
王珏
荣毅
申请人：
申请人地址：
201206上海市浦东新区川桥路1188号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
H01L21321
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人：
王函
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-04-01 | 授权 | 授权 |
| 2014-01-08 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684689086 IPC(主分类):H01L 21/304 专利号:ZL2006101169417 变更事项:专利权人 变更前:上海华虹NEC电子有限公司 变更后:上海华虹宏力半导体制造有限公司 变更事项:地址 变更前:201206 上海市浦东新区川桥路1188号 变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 |
| 2008-04-16 | 公开 | 公开 |
| 2008-06-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2019-09-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20061009 授权公告日:20090401 终止日期:20181009 |