对位装置、采用所述对位装置的光栅对位系统及其对位方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910109602.X

申请日：

2009-11-13

公开(公告)号：

CN101710202B

公开(公告)日：

2010-05-19

发明(设计)人：

顾开宇

申请人：

申请人地址：

518100 广东省深圳市南山区华侨城东部工业区H-1栋101

IPC主分类号：

G02B700

IPC分类号：

G02B2722

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

何青瓦;李庆波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-19	公开	公开
2011-05-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101070296230 IPC(主分类):G02B 7/00 专利申请号:200910109602X 申请日:20091113
2012-07-11	授权	授权
2018-08-07	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G02B 7/00 登记生效日:20180718 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳超多维光电子有限公司变更后权利人:深圳超多维科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518100 广东省深圳市南山区华侨城东部工业区H-1栋101 变更后权利人:518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室（入驻深圳市前海商务秘书有限公司）

共 50 条

[1]

对位装置、对位系统和对位方法 [P].

钱学强 ;

陈东川 ;

王丹 ;

刘冰洋 ;

马新利 .

中国专利 :CN109118958A ,2019-01-01

[2]

对位方法及其对位装置 [P].

刘俊良 .

中国专利 :CN117783607A ,2024-03-29

[3]

对位装置、对位检测方法及对位系统 [P].

张霁 ;

边征 ;

辛帅 .

中国专利 :CN105215760A ,2016-01-06

[4]

光学对位系统及其对位方法 [P].

白文宾 ;

张子阳 ;

田尧 ;

胡心禕 .

中国专利 :CN120669428A ,2025-09-19

[5]

掩模对位装置及其对位方法 [P].

魏志凌 ;

高小平 ;

郑庆靓 .

中国专利 :CN103205694A ,2013-07-17

[6]

基板对位系统及其对位方法 [P].

鲁柏树 .

中国专利 :CN101060112A ,2007-10-24

[7]

对位装置及对位方法 [P].

黎育腾 ;

曲昌盛 ;

贺培诚 ;

何贯睿 ;

钟双兆 ;

范植训 ;

陈治诚 .

中国专利 :CN106053343B ,2016-10-26

[8]

对位装置和对位方法 [P].

马铭 ;

方振华 ;

唐修俊 ;

张利锋 .

中国专利 :CN112629408B ,2021-04-09

[9]

对位装置和对位方法 [P].

范纲伦 ;

孟宪明 ;

孙武雄 ;

廖祝湘 ;

张基霖 .

中国专利 :CN108269282A ,2018-07-10

[10]

对位装置及对位方法 [P].

加藤阳治 .

中国专利 :CN102565082A ,2012-07-11

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