一种电容式微机械超声换能器的工艺制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110968958.X

申请日：

2021-08-23

公开(公告)号：

CN113800465A

公开(公告)日：

2021-12-17

发明(设计)人：

高铁成张兆琦李文广胡稼伟闫梦圆宋子琛杨凯

申请人：

申请人地址：

300387 天津市西青区宾水西道399号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

北京思格颂知识产权代理有限公司 11635

代理人：

杨超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-17	公开	公开
2022-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20210823

共 50 条

[1]

一种电容式微机械超声换能器的工艺制造方法 [P].

高铁成 ;

张兆琦 ;

李文广 ;

胡稼伟 ;

闫梦圆 ;

宋子琛 ;

杨凯 .

中国专利 :CN113800465B ,2024-03-22

[2]

电容式微机械超声换能器及其制造方法 [P].

多米尼克·格罗斯 ;

西里尔·梅尼埃 ;

尼古拉斯·塞内贡 .

中国专利 :CN113316486A ,2021-08-27

[3]

静电电容式微机械超声换能器 [P].

李炳喆 ;

崔里诺 ;

李活 .

中国专利 :CN111545438B ,2020-08-18

[4]

电容式微机械超声换能器、制造方法及电气产品 [P].

庞慰 ;

牛鹏飞 .

中国专利 :CN120325511A ,2025-07-18

[5]

一种电容式微机械阵列超声换能器 [P].

曹彬雷 ;

宋金龙 ;

李杰 ;

孙贝贝 ;

周六辉 .

中国专利 :CN120169659A ,2025-06-20

[6]

电容式微机械换能器及制造所述电容式微机械换能器的方法 [P].

P·迪克森 ;

R·毛奇斯措克 ;

K·卡拉卡亚 ;

J·H·克鲁特威克 ;

B·马赛利斯 ;

M·米尔德 .

中国专利 :CN104066521A ,2014-09-24

[7]

电容式微机械超声换能单元及其制作方法和电容式微机械超声换能器 [P].

陶永春 ;

张宜驰 .

中国专利 :CN112974198B ,2021-06-18

[8]

电容式微机械超声换能器及其制作方法 [P].

郑庆祥 ;

李英拓 ;

金积德 ;

王泽霖 ;

杨婷婷 .

中国专利 :CN114367430B ,2022-04-19

[9]

新型电容式微机械超声换能器和控制方法 [P].

马波 ;

尤政 .

中国专利 :CN118698842A ,2024-09-27

[10]

用于电容式微机械超声换能器的偏压应用 [P].

庄雪锋 ;

D·赵 ;

Y·黄 .

中国专利 :CN107812690A ,2018-03-20

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