基板涂覆装置和基板涂覆方法

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专利类型
发明
申请号
CN200410037268.9
申请日
2004-04-30
公开(公告)号
CN1305586C
公开(公告)日
2004-12-01
发明(设计)人
元村秀峰
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B05C502
IPC分类号
B05C1100 B05D126
代理机构
北京三友知识产权代理有限公司
代理人
李辉
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
基板涂覆装置和基板涂覆方法 [P]. 
元村秀峰 .
中国专利 :CN1974028A ,2007-06-06
[2]
用于涂覆光学基板的涂覆系统,其方法和被涂覆的光学基板 [P]. 
J·L·科埃尼格二世 .
中国专利 :CN111201127A ,2020-05-26
[3]
分析基板涂覆装置和方法 [P]. 
利·H·安格罗斯 .
中国专利 :CN101495245A ,2009-07-29
[4]
涂覆装置和涂覆方法 [P]. 
西野刚 ;
小野川彻 .
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[5]
涂覆方法和涂覆装置 [P]. 
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长井启史 ;
高岛直弘 .
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[6]
涂覆装置和涂覆方法 [P]. 
约翰内斯·施密德 .
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[7]
涂覆装置和涂覆方法 [P]. 
宫川大亮 ;
松本泰直 ;
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[8]
涂覆装置和涂覆方法 [P]. 
李云平 ;
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王健翔 .
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[9]
涂覆装置和涂覆方法 [P]. 
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申奉圭 ;
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[10]
涂覆装置和涂覆方法 [P]. 
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金子修芳 ;
西野刚 .
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