一种石英舟结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120549639.7

申请日：

2011-12-23

公开(公告)号：

CN202423242U

公开(公告)日：

2012-09-05

发明(设计)人：

刘波杨继业姚亮

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区上海浦东川桥路1188号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

丁纪铁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	授权	授权
2017-02-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101704368779 IPC(主分类):H01L 21/673 专利号:ZL2011205496397 申请日:20111223 授权公告日:20120905 终止日期:20151223
2014-01-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101685155815 IPC(主分类):H01L 21/673 专利号:ZL2011205496397 变更事项:专利权人变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20131218

共 50 条

[1]

一种石英舟结构 [P].

胡玉婷 ;

董方 .

中国专利 :CN205564795U ,2016-09-07

[2]

一种扩散石英舟结构 [P].

徐杰 .

中国专利 :CN203562411U ,2014-04-23

[3]

一种减少硼扩散石英舟齿印的石英舟结构 [P].

董志民 ;

陆银川 ;

黄浩 ;

郭拥晋 .

中国专利 :CN222600938U ,2025-03-11

[4]

一种石英舟舟叉 [P].

徐亮荣 ;

郭辉 ;

杨曦 .

中国专利 :CN209328871U ,2019-08-30

[5]

一种石英舟 [P].

余仲 ;

杨宝立 ;

林金雨 .

中国专利 :CN216563042U ,2022-05-17

[6]

一种石英舟 [P].

盛文彬 ;

唐忠民 .

中国专利 :CN205944052U ,2017-02-08

[7]

一种石英舟 [P].

吴建芬 ;

张灵 ;

任俊江 ;

薇儿妮卡·夏丽叶 .

中国专利 :CN213905324U ,2021-08-06

[8]

一种石英舟 [P].

陈海燕 ;

沈雯 ;

邓伟伟 .

中国专利 :CN213278040U ,2021-05-25

[9]

一种石英舟 [P].

周建军 ;

李守卫 ;

杨广伟 ;

陈泉 ;

周军建 ;

郁小虎 .

中国专利 :CN213459672U ,2021-06-15

[10]

一种石英舟 [P].

宋伟宏 ;

计斌 ;

陆建国 ;

沈根法 .

中国专利 :CN202217694U ,2012-05-09

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