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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-29 | 授权 | 授权 |
| 2016-08-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101675101909 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016102236499 申请日:20160412 |
| 2016-07-20 | 公开 | 公开 |
| 2017-09-05 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758641380 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016102236499 变更事项:发明人 变更前:刘劲松;邱进军;郭俭 变更后:刘劲松;郭俭;张应伍;谢旭波;林金木 |