一种电子束加工系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610405200.4

申请日：

2016-06-08

公开(公告)号：

CN107481913B

公开(公告)日：

2017-12-15

发明(设计)人：

柳鹏赵伟林晓阳周段亮张春海姜开利范守善

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室

IPC主分类号：

H01J37147

IPC分类号：

H01J3724 H01J3730

代理机构：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-02	授权	授权
2017-12-15	公开	公开
2018-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/147 申请日:20160608

共 50 条

[1]

一种采用电子束的光刻方法 [P].

柳鹏 ;

赵伟 ;

林晓阳 ;

周段亮 ;

张春海 ;

姜开利 ;

范守善 .

中国专利 :CN107479330A ,2017-12-15

[2]

一种多电子束中心送丝的电子束加工系统 [P].

张永生 .

中国专利 :CN111250855A ,2020-06-09

[3]

一种多电子束中心送丝的电子束加工系统 [P].

于宝海 ;

谢广亮 .

中国专利 :CN206200333U ,2017-05-31

[4]

一种多电子束中心送丝的电子束加工系统及加工方法 [P].

于宝海 ;

谢广亮 .

中国专利 :CN106392290B ,2017-02-15

[5]

一种电子束加工设备扫描系统 [P].

黄小东 ;

韦寿祺 ;

费翔 ;

张彤 ;

董阳 ;

王斌 ;

王伟 ;

郭文明 ;

梁祖明 ;

王奉宾 ;

王建辉 ;

李黎 .

中国专利 :CN112509898A ,2021-03-16

[6]

一种电子束辐照加工系统 [P].

汪恩锋 ;

王俏珍 ;

唐昌 ;

黄晓锋 .

中国专利 :CN113782248A ,2021-12-10

[7]

一种电子束辐照加工系统 [P].

汪恩锋 ;

王俏珍 ;

唐昌 ;

黄晓锋 .

中国专利 :CN113782248B ,2024-08-27

[8]

一种卧式齿轮表面电子束加工系统 [P].

李晖 ;

邹文江 ;

胡友呈 ;

刘帅 ;

刘艳平 .

中国专利 :CN207227494U ,2018-04-13

[9]

一种立式齿轮表面电子束加工系统 [P].

杨岩 ;

王伦维 ;

张红 ;

罗石林 ;

胡琳 ;

税云秀 .

中国专利 :CN207109036U ,2018-03-16

[10]

一种简易式电子束模具加工机器 [P].

王荣 ;

齐文亮 ;

魏德强 ;

辛喆 ;

殷学俊 .

中国专利 :CN112530770A ,2021-03-19

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