一种硅电池片湿法刻蚀排风装置及包含该装置的湿法刻蚀机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721147255.6

申请日：

2017-09-08

公开(公告)号：

CN207183305U

公开(公告)日：

2018-04-03

发明(设计)人：

桑和伟许涛余志任飞飞纪罗文

申请人：

申请人地址：

243000 安徽省马鞍山市马鞍山承接产业转移示范园区天津路1505号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

C23F108 C23F124

代理机构：

南京知识律师事务所 32207

代理人：

蒋海军

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20170908 授权公告日:20180403 终止日期:20200908
2018-04-03	授权	授权

共 50 条

[1]

太阳能硅电池湿法刻蚀机刻蚀段双层抽风系统 [P].

钱诚 ;

吴兵 .

中国专利 :CN202855716U ,2013-04-03

[2]

湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P].

郝晓波 .

中国专利 :CN103606518B ,2014-02-26

[3]

单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置 [P].

程鹏飞 ;

龚双龙 ;

全余生 .

中国专利 :CN201962364U ,2011-09-07

[4]

一种太阳能电池湿法刻蚀设备的排风装置 [P].

张恒 ;

刘凯 ;

罗存义 ;

匡成国 ;

徐涛 ;

李质磊 ;

盛雯婷 ;

张凤鸣 .

中国专利 :CN202380092U ,2012-08-15

[5]

一种湿法刻蚀机刻蚀装置 [P].

胡伟 ;

叶成枝 ;

肖冠华 ;

杨子衡 ;

吴代吾 ;

侯智 .

中国专利 :CN203782235U ,2014-08-20

[6]

单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置 [P].

程鹏飞 ;

龚双龙 ;

全余生 .

中国专利 :CN102605372A ,2012-07-25

[7]

一种太阳能电池片湿法刻蚀机的水膜铺开装置 [P].

陈逸川 .

中国专利 :CN112635363A ,2021-04-09

[8]

一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置 [P].

孙瑜 ;

卢玉荣 ;

王仕鹏 ;

黄海燕 ;

陆川 .

中国专利 :CN206210818U ,2017-05-31

[9]

单晶硅电池片湿法刻蚀装置及生产工艺、太阳能电池片 [P].

张蒙 ;

张招辉 .

中国专利 :CN119920731A ,2025-05-02

[10]

金属硅化层的湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P].

厉鸣夏 ;

徐兴国 ;

张凌越 ;

姜波 ;

张言成 .

中国专利 :CN113921393B ,2025-06-06

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