光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110480246.3

申请日：

2016-09-26

公开(公告)号：

CN113219782A

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

吉田光一郎金台勋李锡薰

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F120

IPC分类号：

G03F136 G03F162 G03F168 G03F176 G03F180 G03F700 G03F709 G03F720

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

庞东成

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	公开	公开
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/20 申请日:20160926

共 50 条

[1]

光掩模、光掩模的制造方法、光掩模坯料以及显示装置的制造方法 [P].

今敷修久 ;

吉川裕 ;

菅原浩幸 .

中国专利 :CN105319831A ,2016-02-10

[2]

光掩模、光掩模的制造方法以及显示装置的制造方法 [P].

今敷修久 ;

吉川裕 ;

菅原浩幸 .

中国专利 :CN110673436A ,2020-01-10

[3]

光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

中国专利 :CN107817648B ,2018-03-20

[4]

光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P].

李锡薰 ;

金台勋 .

中国专利 :CN106597807B ,2017-04-26

[5]

光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

中国专利 :CN104950569A ,2015-09-30

[6]

光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P].

吉田光一郎 ;

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN106814534B ,2017-06-09

[7]

光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P].

樋渡忠夫 ;

田中敏幸 .

中国专利 :CN102141726B ,2011-08-03

[8]

光掩模、光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P].

田中千惠 ;

齐藤隆史 ;

山田步实 ;

森山久美子 ;

福泉照夫 .

中国专利 :CN114114827A ,2022-03-01

[9]

光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN107844026A ,2018-03-27

[10]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

李锡薰 ;

柳敏相 ;

薛宰勋 .

日本专利 :CN111624849B ,2024-03-29

← 1 2 3 4 5 →