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驰豫GeSn红外雪崩光电探测器及其制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810870394.4
申请日：
2018-08-02
公开(公告)号：
CN110797431A
公开(公告)日：
2020-02-14
发明(设计)人：
汪巍 方青 涂芝娟 曾友宏 蔡艳 王庆 王书晓 余明斌
申请人：
申请人地址：
201800 上海市嘉定区城北路235号3号楼
IPC主分类号：
H01L31107
IPC分类号：
H01L3118 H01L31028
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤;陈丽丽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-02 授权 授权
2020-02-14 公开 公开
2020-03-10 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/107 申请日:20180802
共 50 条
[1]
波导集成的GeSn光电探测器及其制造方法 [P]. 
汪巍 ;
方青 ;
涂芝娟 ;
曾友宏 ;
蔡艳 ;
王庆 ;
王书晓 ;
余明斌 .
中国专利 :CN110896112B ,2020-03-20
[2]
应变平衡GeSn红外光电探测器及其制造方法 [P]. 
汪巍 ;
方青 ;
涂芝娟 ;
曾友宏 ;
蔡艳 ;
王庆 ;
王书晓 ;
余明斌 .
中国专利 :CN110767766B ,2020-02-07
[3]
雪崩光电探测器(变型)及其制造方法(变型) [P]. 
尼古拉·阿法纳塞维奇·科洛博夫 ;
康斯坦丁·尤列维奇·西塔斯基 ;
维塔利·埃马努伊洛维奇·舒宾 ;
德米特里·阿列克谢耶维奇·舒沙科夫 ;
谢尔盖·维塔利维奇·博格达诺夫 .
中国专利 :CN113574680A ,2021-10-29
[4]
雪崩光电探测器(变型)及其制造方法(变型) [P]. 
尼古拉·阿法纳塞维奇·科洛博夫 ;
康斯坦丁·尤列维奇·西塔斯基 ;
维塔利·埃马努伊洛维奇·舒宾 ;
德米特里·阿列克谢耶维奇·舒沙科夫 ;
谢尔盖·维塔利维奇·博格达诺夫 .
中国专利 :CN113678267A ,2021-11-19
[5]
雪崩光电探测器(变型)及其制造方法(变型) [P]. 
尼古拉·阿法纳塞维奇·科洛博夫 ;
康斯坦丁·尤列维奇·西塔斯基 ;
维塔利·埃马努伊洛维奇·舒宾 ;
德米特里·阿列克谢耶维奇·舒沙科夫 ;
谢尔盖·维塔利维奇·博格达诺夫 .
:CN113574680B ,2024-01-12
[6]
雪崩光电探测器(变型)及其制造方法(变型) [P]. 
尼古拉·阿法纳塞维奇·科洛博夫 ;
康斯坦丁·尤列维奇·西塔斯基 ;
维塔利·埃马努伊洛维奇·舒宾 ;
德米特里·阿列克谢耶维奇·舒沙科夫 ;
谢尔盖·维塔利维奇·博格达诺夫 .
中国专利 :CN113574681A ,2021-10-29
[7]
雪崩光电探测器(变型)及其制造方法(变型) [P]. 
尼古拉·阿法纳塞维奇·科洛博夫 ;
康斯坦丁·尤列维奇·西塔斯基 ;
维塔利·埃马努伊洛维奇·舒宾 ;
德米特里·阿列克谢耶维奇·舒沙科夫 ;
谢尔盖·维塔利维奇·博格达诺夫 .
:CN113574681B ,2024-01-12
[8]
雪崩光电探测器 [P]. 
郑纪元 ;
刘北辰 ;
汪莱 ;
罗毅 .
中国专利 :CN120813072A ,2025-10-17
[9]
近红外雪崩光电探测器 [P]. 
翟汉濂 ;
吕顺顺 ;
肖道忠 ;
杜先常 ;
高松 .
中国专利 :CN307818024S ,2023-01-31
[10]
雪崩光电探测器及其制备方法 [P]. 
胡晓 ;
陈代高 ;
张宇光 ;
王磊 ;
肖希 .
中国专利 :CN114256375A ,2022-03-29
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