共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-07-27 | 授权 | 授权 |
| 2009-09-30 | 公开 | 公开 |
| 2018-03-02 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20180208 变更事项:专利权人 变更前权利人:家登精密工业股份有限公司 变更后权利人:家登自动化股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:中国台湾台北县 变更后权利人:中国台湾新北市土城区中央路4段2号8楼之5 |
| 2021-03-12 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20080325 授权公告日:20110727 终止日期:20200325 |
| 2009-11-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |