拆装半导体抽真空设备的方法

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专利类型
发明
申请号
CN200510126391.2
申请日
2005-12-08
公开(公告)号
CN1935467A
公开(公告)日
2007-03-28
发明(设计)人
胡谦
申请人
申请人地址
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
IPC主分类号
B25B2714
IPC分类号
代理机构
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人
蔡世英
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
用于半导体抽真空设备拆装的装置及其方法 [P]. 
胡谦 .
中国专利 :CN1850426A ,2006-10-25
[2]
半导体真空设备 [P]. 
孙虎 .
中国专利 :CN214068686U ,2021-08-27
[3]
半导体真空设备 [P]. 
高飞翔 ;
董怀宝 ;
李世敏 .
中国专利 :CN112768381A ,2021-05-07
[4]
半导体真空设备用逆止阀及半导体真空设备 [P]. 
张耿 .
中国专利 :CN209340570U ,2019-09-03
[5]
抽真空设备 [P]. 
袁建清 .
中国专利 :CN104832398A ,2015-08-12
[6]
抽真空设备 [P]. 
陈振强 .
中国专利 :CN119982440A ,2025-05-13
[7]
抽真空设备 [P]. 
张艳乡 .
中国专利 :CN304583979S ,2018-04-13
[8]
抽真空设备 [P]. 
拉尔夫·赛耶 ;
简·舒尔廷克 .
中国专利 :CN106455881B ,2017-02-22
[9]
抽真空设备 [P]. 
李小龙 ;
李东 ;
邱建飞 ;
秦迎春 .
中国专利 :CN206609306U ,2017-11-03
[10]
抽真空设备 [P]. 
占华雄 ;
王海勇 ;
熊乐军 .
中国专利 :CN119370569A ,2025-01-28