共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-04-03 | 授权 | 授权 |
| 2010-03-31 | 公开 | 公开 |
| 2017-11-03 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20090917 授权公告日:20130403 终止日期:20160917 |
| 2011-11-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101131117580 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2009101755099 申请日:20090917 |