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检测系统以及检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910825811.8
申请日：
2019-09-03
公开(公告)号：
CN112447537A
公开(公告)日：
2021-03-05
发明(设计)人：
李文宗
申请人：
申请人地址：
中国台湾台北市士林区徳行西路45号7楼
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20190903 |
| 2021-03-05 | 公开 | 公开 |