金属化合物的除去方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202180003312.6

申请日：

2021-01-12

公开(公告)号：

CN113853669A

公开(公告)日：

2021-12-28

发明(设计)人：

松井一真

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

C09K1300

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

段承恩;杨光军

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-28	公开	公开
2022-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20210112

共 50 条

[1]

金属化合物の除去方法[ja] [P].

日本专利 :JP7687216B2 ,2025-06-03

[2]

解离金属或金属化合物的方法 [P].

内尔·G·斯马特 ;

魏建谟 ;

弗雷德·H·亨特 ;

林月河 .

中国专利 :CN1262710A ,2000-08-09

[3]

金属化合物 [P].

崔善美 ;

姜宣宇 .

中国专利 :CN112940027A ,2021-06-11

[4]

制备金属化合物的方法 [P].

F·莱曼 ;

U·基特尔曼 .

中国专利 :CN102803272A ,2012-11-28

[5]

金属化合物的浓缩方法 [P].

明石孝也 .

中国专利 :CN104603307B ,2015-05-06

[6]

金属化合物的去除 [P].

吉姆·阿洛伊修斯·玛利亚·布兰茨 ;

彼得·希尔德高杜斯·贝尔文 .

中国专利 :CN1668770A ,2005-09-14

[7]

金属化合物的去除 [P].

吉姆·阿洛伊修斯·玛利亚·布兰茨 ;

彼得·希尔德高杜斯·贝尔文 .

中国专利 :CN102146516B ,2011-08-10

[8]

有机金属化合物和所述有机金属化合物的纯化 [P].

R·奥德拉 ;

董存海 ;

D·法布里亚克 ;

W·格拉夫 .

加拿大专利 :CN111032667B ,2024-05-17

[9]

过渡金属化合物 [P].

Ｇ·厄克 ;

Ｂ·特米 ;

Ｍ·奥尔巴赫 ;

Ｂ·巴克曼 ;

Ｆ·库伯 .

中国专利 :CN1069646C ,1996-04-03

[10]

有机金属化合物 [P].

S·赫里奇 ;

J·松德迈尔 ;

A·里瓦斯纳斯 ;

O·布里奥 ;

R·卡奇 ;

W·朔恩 ;

A·弗雷 ;

A·多皮乌 ;

E·沃尔奈尔 .

中国专利 :CN112805290A ,2021-05-14

← 1 2 3 4 5 →