一种单芯片三维电场传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110336557.2

申请日：

2021-03-29

公开(公告)号：

CN113109636B

公开(公告)日：

2021-07-13

发明(设计)人：

夏善红彭思敏雷虎成刘俊刘向明

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区北四环西路19号

IPC主分类号：

G01R2912

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

聂俊伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-17	授权	授权
2021-07-13	公开	公开
2021-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 29/12 申请日:20210329

共 50 条

[1]

旋转谐振式三维电场传感器 [P].

夏善红 ;

王宇 ;

方东明 ;

彭春荣 .

中国专利 :CN103308782B ,2013-09-18

[2]

一种双振动模式的单芯片MEMS三维电场传感器 [P].

闻小龙 ;

程颢彬 ;

李建华 ;

张波 .

中国专利 :CN116654862B ,2024-06-18

[3]

三维电场传感器 [P].

白强 ;

张星 ;

夏善红 .

中国专利 :CN1880963A ,2006-12-20

[4]

伸缩谐振式三维电场传感器 [P].

夏善红 ;

王宇 ;

方东明 ;

彭春荣 .

中国专利 :CN103308781A ,2013-09-18

[5]

一种微型三维电场传感器 [P].

夏善红 ;

叶超 ;

陈贤祥 ;

彭春荣 ;

陈绍凤 .

中国专利 :CN101246192A ,2008-08-20

[6]

小型三维电场传感器 [P].

白强 ;

张星 ;

郑凤杰 ;

夏善红 ;

陈绍凤 .

中国专利 :CN100535674C ,2007-02-07

[7]

一种三维空中电场传感器 [P].

陈贤祥 ;

夏善红 ;

任仁 ;

彭春荣 ;

郑凤杰 .

中国专利 :CN102298096B ,2011-12-28

[8]

光电集成三维电场传感器系统 [P].

曾嵘 ;

王博 ;

牛犇 ;

余占清 ;

何金良 .

中国专利 :CN102288839A ,2011-12-21

[9]

一种低轴间耦合的三维电场传感器 [P].

夏善红 ;

凌必赟 ;

彭春荣 .

中国专利 :CN107907749B ,2018-04-13

[10]

一种集成光波导三维电场传感器 [P].

张家洪 ;

李英娜 ;

万小容 ;

赵振刚 ;

李川 .

中国专利 :CN108120883B ,2018-06-05

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