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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2008-12-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2012-01-04 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101257514283 IPC(主分类):C23C 16/00 专利申请号:2006101639605 变更事项:申请人 变更前:应用材料股份有限公司 变更后:应用材料公司 变更事项:地址 变更前:美国加利福尼亚州 变更后:美国加利福尼亚州 |
| 2007-07-04 | 公开 | 公开 |
| 2015-07-08 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717669013 IPC(主分类):C23C 16/00 专利申请号:2006101639605 申请公布日:20070704 |