负压成型微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110457855.3

申请日：

2011-12-30

公开(公告)号：

CN102807188A

公开(公告)日：

2012-12-05

发明(设计)人：

尚金堂王亭亭魏文龙蒯文林秦顺金于慧

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市新区菱湖大道99号

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81C100 G04F514

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

张惠忠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-05	公开	公开
2015-08-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101719111736 IPC(主分类):B81B 7/00 专利申请号:2011104578553 申请公布日:20121205
2013-01-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101388122697 IPC(主分类):B81B 7/00 专利申请号:2011104578553 申请日:20111230

共 50 条

[1]

MEMS微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法 [P].

尚金堂 ;

蒯文林 ;

魏文龙 ;

秦顺金 ;

于慧 ;

王亭亭 .

中国专利 :CN102491259A ,2012-06-13

[2]

有光入射平面的微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法 [P].

尚金堂 ;

蒯文林 ;

魏文龙 ;

秦顺金 ;

于慧 ;

王亭亭 .

中国专利 :CN102515083A ,2012-06-27

[3]

微型原子钟物理封装及微型原子钟 [P].

张忠山 ;

乔东海 ;

汝长海 ;

孙钰 .

中国专利 :CN111510141A ,2020-08-07

[4]

微流控原子腔、片上原子钟芯片及制备方法 [P].

尚金堂 ;

魏文龙 ;

秦顺金 ;

蒯文林 ;

于慧 ;

王亭亭 .

中国专利 :CN102515084A ,2012-06-27

[5]

用于原子钟的微型微波腔及制备方法 [P].

王鹏飞 ;

王晨 ;

赵峰 ;

梅刚华 .

中国专利 :CN112886176B ,2021-06-01

[6]

圆片级片上集成微型原子钟芯片及其制备方法 [P].

尚金堂 ;

于慧 ;

魏文龙 ;

罗新虎 ;

刘靖东 ;

秦顺金 .

中国专利 :CN102495545A ,2012-06-13

[7]

芯片原子钟 [P].

刘瑞元 ;

王鑫 ;

宋亚飞 ;

梁小芃 .

中国专利 :CN214504141U ,2021-10-26

[8]

基于真空绝热微型原子气室的芯片原子钟及实现方法 [P].

陈景标 ;

张同云 ;

商浩森 .

中国专利 :CN112363381B ,2021-02-12

[9]

纳米Y波导的芯片原子钟微型系统 [P].

闫树斌 ;

张彦军 ;

张璐 ;

张文栋 .

中国专利 :CN108628152B ,2018-10-09

[10]

一种芯片原子钟的MEMS原子腔的制作方法 [P].

张振伟 ;

陈星 ;

杨仁福 .

中国专利 :CN107840305A ,2018-03-27

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