CVD方法制备ZnSe过程中的尾气自动控制系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721470076.6
申请日
2017-11-07
公开(公告)号
CN207596958U
公开(公告)日
2018-07-10
发明(设计)人
李冬旭 魏乃光 杨建纯 黎建明 孟宪强 路淑娟
申请人
申请人地址
065201 河北省廊坊市三河市燕郊兴都村南有研国晶辉新材料有限公司
IPC主分类号
C23C1652
IPC分类号
C23C1630
代理机构
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100
代理人
倪中翔;王淳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
CVD方法制备硫化锌过程中的压力自动控制系统 [P]. 
李冬旭 ;
杨建纯 ;
魏乃光 ;
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[2]
自动控制系统 [P]. 
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[3]
自动控制系统的调试装置及自动控制系统 [P]. 
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