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用于多区域静电卡盘的传感器系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780007493.3
申请日：
2017-01-20
公开(公告)号：
CN108474694A
公开(公告)日：
2018-08-31
发明(设计)人：
V·D·帕科
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
G01K716
IPC分类号：
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
汪骏飞;侯颖媖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-08-31 | 公开 | 公开 |
| 2018-11-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01K 7/16 申请日:20170120 |