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异形基板边缘检查装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920239734.3
申请日：
2019-02-25
公开(公告)号：
CN209727743U
公开(公告)日：
2019-12-03
发明(设计)人：
白井明
申请人：
申请人地址：
日本国大阪府东大阪市柏田西3丁目5番21号
IPC主分类号：
G01N2101
IPC分类号：
G01N2195
代理机构：
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139
代理人：
孙皓晨;李林
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-03 | 授权 | 授权 |