基于激光声表面波的硅片加工表面损伤和残余应力表征方法

被引：0

申请号：

CN202111574343.5

申请日：

2021-12-21

公开(公告)号：

CN114354502A

公开(公告)日：

2022-04-15

发明(设计)人：

林滨刘再蔚梁小虎杜安尧马小康

申请人：

申请人地址：

300072 天津市南开区卫津路92号

IPC主分类号：

G01N2117

IPC分类号：

G01N2195 G01L124 G01L500

代理机构：

天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201

代理人：

潘俊达

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/17 申请日:20211221
2022-04-15	公开	公开

共 50 条

[1]

基于激光声表面波的硅片加工表面损伤和残余应力表征方法 [P].

林滨 ;

刘再蔚 ;

梁小虎 ;

杜安尧 ;

马小康 .

中国专利 :CN114354502B ,2024-01-30

[2]

激光声表面波应力测试系统 [P].

沈中华 ;

石一飞 ;

倪晓武 ;

倪辰荫 ;

严刚 .

中国专利 :CN101281172A ,2008-10-08

[3]

一种基于激光声表面波的加工表面裂纹开口宽度测量方法 [P].

梁小虎 ;

林滨 ;

刘再蔚 ;

马小康 .

中国专利 :CN115406384B ,2024-03-12

[4]

一种基于激光声表面波的加工表面裂纹开口宽度测量方法 [P].

梁小虎 ;

林滨 ;

刘再蔚 ;

马小康 .

中国专利 :CN115406384A ,2022-11-29

[5]

基于激光声表面波的物体表面裂纹在线检测方法 [P].

刘永强 ;

周高明 ;

丁小川 .

中国专利 :CN113504182A ,2021-10-15

[6]

声表面波元件、声表面波设备、声表面波双工器和声表面波元件制造方法 [P].

中野正洋 ;

苏武正树 ;

大塚滋树 ;

加贺谷康永 .

中国专利 :CN1578131A ,2005-02-09

[7]

应力和温度补偿声表面波器件 [P].

比卡什·辛哈 .

中国专利 :CN86104444A ,1986-12-31

[8]

基于瞬态光栅激光超声表面波的残余应力无损检测系统和方法 [P].

裴翠祥 ;

寇兴 ;

弋东驰 ;

刘天浩 .

中国专利 :CN108871640B ,2018-11-23

[9]

声表面波装置的制造方法及声表面波装置 [P].

门田道雄 ;

木村哲也 .

中国专利 :CN101356727B ,2009-01-28

[10]

声表面波元件、声表面波器件及其制造方法 [P].

富冈宗子 ;

山下清春 ;

古川光弘 .

中国专利 :CN1484378A ,2004-03-24

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