一种等离子体激励方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510126395.0

申请日：

2005-12-08

公开(公告)号：

CN1852630A

公开(公告)日：

2006-10-25

发明(设计)人：

宋巧丽

申请人：

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

蔡世英

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-02-06	授权	授权
2006-10-25	公开	公开
2006-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2018-08-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H05H 1/46 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后:100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号

共 50 条

[1]

等离子体激励器 [P].

李伟鹏 ;

张屹 ;

李斌 ;

王建航 ;

刘娟 ;

邱昇 ;

苏盛春 .

中国专利 :CN203554775U ,2014-04-16

[2]

等离子体激励器 [P].

李钢 ;

徐纲 ;

王凯兴 ;

杨金虎 ;

穆勇 .

中国专利 :CN115002998A ,2022-09-02

[3]

控制等离子体激励功率的等离子体处理方法和装置 [P].

T·尼 ;

F·林 ;

C·－H·黄 ;

W·江 .

中国专利 :CN100351988C ,2004-07-14

[4]

一种等离子体激励器 [P].

因福明 ;

沈杰 .

中国专利 :CN213064165U ,2021-04-27

[5]

一种等离子体激励电源 [P].

徐跃民 ;

程芝峰 ;

孙海龙 ;

吴逢时 ;

丁亮 ;

王之江 .

中国专利 :CN101772252B ,2010-07-07

[6]

一种电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN1848385A ,2006-10-18

[7]

一种等离子体助燃激励器 [P].

王红飞 ;

刘欢 ;

杨利青 ;

张洪 ;

王浩静 ;

蒋昱东 .

中国专利 :CN204906836U ,2015-12-23

[8]

一种采用等离子体激励技术的喷嘴 [P].

宋鹏 .

中国专利 :CN110344973B ,2019-10-18

[9]

电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN2785310Y ,2006-05-31

[10]

电感耦合等离子体装置 [P].

张宝峰 .

中国专利 :CN2775992Y ,2006-04-26

← 1 2 3 4 5 →