一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201410006213.5
申请日
2014-01-07
公开(公告)号
CN103730548A
公开(公告)日
2014-04-16
发明(设计)人
陈明亿 王维纲 侯则良
申请人
申请人地址
350300 福建省福州市福清市融侨开发区光电科技园
IPC主分类号
H01L3300
IPC分类号
H01L21683
代理机构
福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所(普通合伙) 35217
代理人
刘毅峰
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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