类金刚石膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810021855.0

申请日：

2018-01-10

公开(公告)号：

CN108103474A

公开(公告)日：

2018-06-01

发明(设计)人：

孙海瑜连崑张敏张慧

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区新泽路80号

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C1602

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

李广;耿丹丹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-03	授权	授权
2018-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20180110

共 50 条

[1]

类金刚石膜及其制备方法 [P].

宋健民 ;

甘明吉 ;

林逸樵 .

中国专利 :CN102953043A ,2013-03-06

[2]

制备类金刚石复合振膜的方法 [P].

张保军 ;

孙滨如 .

中国专利 :CN1031740C ,1994-10-05

[3]

类金刚石膜仿生支座 [P].

王立虎 ;

王守仁 ;

王成 ;

王砚军 ;

王鑫松 ;

王佩文 ;

张晓东 ;

颜新宇 .

中国专利 :CN106638283B ,2017-05-10

[4]

类金刚石膜涂层设备 [P].

陈远达 ;

王胜云 ;

何静 .

中国专利 :CN203700496U ,2014-07-09

[5]

类金刚石膜仿生支座 [P].

王立虎 ;

王守仁 ;

王成 ;

王砚军 ;

王鑫松 ;

王佩文 ;

张晓东 ;

颜新宇 .

中国专利 :CN206173792U ,2017-05-17

[6]

具有金刚石膜或类金刚石膜的复合散热装置 [P].

刘小利 .

中国专利 :CN209623461U ,2019-11-12

[7]

多层类金刚石膜及其加工方法 [P].

王震 ;

司文华 .

中国专利 :CN107557752A ,2018-01-09

[8]

PVD-CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件 [P].

龙丹 ;

林勇刚 ;

王立利 .

中国专利 :CN113862671B ,2021-12-31

[9]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[10]

一种类金刚石膜玻璃的制备方法 [P].

邓三军 .

中国专利 :CN112746255A ,2021-05-04

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