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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 24/10 申请日:20201118 |
| 2021-01-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-04-02 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 24/10 变更事项:发明人 变更前:张立春 王群 马兰 孙远东 史秀梅 康晶杰 王若兰 李岩 李胜杰 任丽宏 温铁丽 变更后:张立君 王群 马兰 孙远东 史秀梅 康晶杰 王若兰 李岩 李胜杰 任丽宏 温铁丽 |