一种压电薄膜的制备方法、压电薄膜及声表面波滤波器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010717300.7

申请日：

2020-07-23

公开(公告)号：

CN111883647A

公开(公告)日：

2020-11-03

发明(设计)人：

欧欣陈阳黄凯赵晓蒙鄢有泉李忠旭黄浩

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

H01L41253

IPC分类号：

H01L4104 H01L4108 H03H902 H03H964

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;贾允

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	授权	授权
2020-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/253 申请日:20200723
2022-03-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 41/253 登记生效日:20220223 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所变更后权利人:上海新硅聚合半导体有限公司变更事项:地址变更前权利人:200050 上海市长宁区长宁路865号变更后权利人:201800 上海市嘉定区汇源路55号8幢3层J
2020-11-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于声表面波滤波器的ZnO压电薄膜 [P].

梅欣 ;

张俊 .

中国专利 :CN103023457A ,2013-04-03

[2]

一种用于低损耗声表面波滤波器的压电薄膜 [P].

梅欣 ;

张俊 .

中国专利 :CN103023447A ,2013-04-03

[3]

压电元件以及声表面波滤波器 [P].

近藤清磨 .

中国专利 :CN217135464U ,2022-08-05

[4]

声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119696541B ,2025-07-04

[5]

声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119696541A ,2025-03-25

[6]

一种压电薄膜的制备方法、压电薄膜及带通滤波器 [P].

欧欣 ;

陈阳 ;

黄凯 ;

赵晓蒙 ;

鄢有泉 ;

李忠旭 .

中国专利 :CN111883648B ,2020-11-03

[7]

声表面波滤波器及声表面波滤波器用晶片的加工方法 [P].

林仲和 ;

林彦甫 ;

于超 ;

枋明辉 ;

黄世维 ;

梁锦城 ;

林少萍 ;

杨胜裕 .

中国专利 :CN112152588B ,2024-01-30

[8]

声表面波滤波器及声表面波滤波器用晶片的加工方法 [P].

林仲和 ;

林彦甫 ;

于超 ;

枋明辉 ;

黄世维 ;

梁锦城 ;

林少萍 ;

杨胜裕 .

中国专利 :CN112152588A ,2020-12-29

[9]

声表面波滤波器的优化方法及声表面波滤波器 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119788017A ,2025-04-08

[10]

声表面波滤波器的优化方法及声表面波滤波器 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119788017B ,2025-07-22

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