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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-05-25 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732741550 IPC(主分类):G03F 7/075 专利号:ZL2008800101518 登记生效日:20160503 变更事项:专利权人 变更前权利人:旭化成电子材料株式会社 变更后权利人:旭化成株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 |
| 2021-03-12 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/075 申请日:20080325 授权公告日:20111102 终止日期:20200325 |
| 2011-11-02 | 授权 | 授权 |
| 2010-04-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101000900798 IPC(主分类):G03F 7/075 专利申请号:2008800101518 申请日:20080325 |
| 2010-02-10 | 公开 | 公开 |