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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-01-23 | 授权 | 授权 |
| 2011-08-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096112460 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:2010102311115 申请日:20100714 |
| 2015-02-04 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101710590515 IPC(主分类):H01L 21/687 专利号:ZL2010102311115 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京七星华创电子股份有限公司 变更后权利人:北京硅元科电微电子技术有限责任公司 变更事项:地址 变更前权利人:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层 变更后权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号(M2电子专用设备厂房) 登记生效日:20150114 |
| 2011-06-15 | 公开 | 公开 |