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一种凹槽式真空探针检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201720777776.3
申请日：
2017-06-29
公开(公告)号：
CN207007127U
公开(公告)日：
2018-02-13
发明(设计)人：
刘世文
熊翊世
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301
IPC主分类号：
G01B2100
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-02-13 | 授权 | 授权 |