一种微结构刻蚀的加工装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720030596.9

申请日：

2017-01-12

公开(公告)号：

CN206422047U

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

陈云李力一苏振欣陈新刘强汪正平

申请人：

申请人地址：

510009 广东省广州市越秀区东风东路729号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379

代理人：

刘羽波

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-12	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170112 授权公告日:20170818 放弃生效日:20180112
2017-08-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种微结构刻蚀的加工装置 [P].

陈云 ;

李力一 ;

苏振欣 ;

陈新 ;

刘强 ;

汪正平 .

中国专利 :CN106783692A ,2017-05-31

[2]

辊筒模具表面微结构的加工装置 [P].

张金鹏 ;

常雪峰 ;

谢丹 ;

舒霞云 ;

刘坚 .

中国专利 :CN207155234U ,2018-03-30

[3]

一种内表面微结构加工装置 [P].

王乐驰 ;

刘江文 .

中国专利 :CN208600850U ,2019-03-15

[4]

一种内表面微结构加工装置 [P].

王乐驰 ;

刘江文 .

中国专利 :CN108465889B ,2024-06-28

[5]

一种内表面微结构加工装置 [P].

王乐驰 ;

刘江文 .

中国专利 :CN108465889A ,2018-08-31

[6]

一种金属微结构雷射加工装置 [P].

蔡勇斌 ;

朱庆宏 .

中国专利 :CN218362710U ,2023-01-24

[7]

一种金属内表面微结构加工装置 [P].

蔡勇斌 ;

魏兆航 ;

朱庆宏 .

中国专利 :CN217915201U ,2022-11-29

[8]

一种鱼竿把手的磨削加工装置 [P].

赵镇威 ;

李海霞 .

中国专利 :CN213004406U ,2021-04-20

[9]

多彩微结构、加工件及雷射加工装置 [P].

李俊豪 .

中国专利 :CN204934872U ,2016-01-06

[10]

一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法 [P].

陈新 ;

陈云 ;

施达创 ;

陈桪 ;

刘强 ;

高健 ;

崔成强 .

中国专利 :CN108658036A ,2018-10-16

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